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真空沉積爐具有以下優勢：
1. 高純度材料制備：真空環境中，能夠有效避免氧化、碳化和雜質的混入，保證材料制備的高純度。6. 生產效率高：真空沉積爐能夠實現連續生產，提高生產效率，適用于大批量制備需要覆蓋薄膜的材料。
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